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多孔氮化硅表面封孔增强涂层研究

王树彬 , 李世杰 , 张跃

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2008.00769

以CaO-SiO 2-B2O 3体系作为α-Si 3 N4 的结合剂和助烧剂, 采用溶胶-凝胶法在多孔氮化硅表面制备了防潮增强涂层. 采用X射线衍射(XRD)方法对涂层进行了相结构分析; 用扫描电子显微镜(SEM)观察了涂层的微观形貌; 用阿基米德法测量了封孔前后基体的密度、吸水率和显气孔率; 分别在SANS电子式材料实验机和1MHz LCR测试仪上测量了封孔前后材料的抗弯强度、介电常数和介电损耗. 结果表明: 封孔防潮处理使基体吸水率下降了90.99%~96.97%, 强度提高了9%~22%, 而对多孔体的密度、介电常数和介电损耗影响很小.

关键词: 氮化硅 , porous materials , sealing , damp-proof

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